廢氣處理設(shè)備對治理工業(yè)廢氣中的有機(jī)化合物為普遍的就是活性炭、活性炭纖維及催化燃燒法等，該廢氣處理工藝有一定的效果，卻存在著耗用大量吸附材料或燃燒的問題，而且工藝比較落后，成本也高，二次污染嚴(yán)重的問題也是存在的，而這些工藝對于大流量、低濃度的有機(jī)廢氣處理得不到理想的效果。
活性炭吸附對某些特定的vocs因子具有良好的吸附作用，且可脫附再生，雖然存在實(shí)際運(yùn)行費(fèi)用高，需要二次處理且效果難于監(jiān)控的問題存在，但仍在有機(jī)廢氣處理工藝上占有重要地位的。
活性炭對于某些特定VOCs因子具有良好的吸附作用，且可脫附再生，雖然存在實(shí)際運(yùn)行費(fèi)用較高，二次處理麻煩，效果難于隨時監(jiān)控等問題，但仍在有機(jī)廢氣的傳統(tǒng)處理工藝上，占有重要地位。
特別是在制藥廠的廢氣處理工程中，制藥車間廢氣因子中由于存在多種不能共存因子混合，可能在活性炭床中造成放熱反應(yīng)及氧化、聚合反應(yīng)。
特別需要提出的是，制藥采用活性炭吸附加冷凝處理，會帶來大量冷凝液，存在二次污染及需要麻煩的再處理的問題。
在有機(jī)廢氣處理設(shè)備中使用的“低溫等離子+復(fù)合光催化”是根據(jù)化工、醫(yī)藥等行業(yè)在生產(chǎn)中產(chǎn)生的大流量、低濃度有機(jī)廢氣特點(diǎn)獨(dú)創(chuàng)的具有國際先進(jìn)水平的降解技術(shù)，其核心是首先用低溫等離子體產(chǎn)生高能量電子，直接分解廢氣因子中的有害氣體，使其迅速形成小分子碎片，降解生成CO2，H2O等，再利用光觸媒的作用，降解尚未完成降解的各類有害氣體，從而達(dá)到對車間生產(chǎn)廢氣較為滿意的綜合降解效果。
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